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Brooks Instrument品牌介紹:

Brooks Instrument是精密流體測量和控制技術(shù)的全球生產(chǎn)者，能夠?qū)崿F(xiàn)精確的工藝性能，成立于1946年美國。是是ITW一個部門，ITW是的專業(yè)工業(yè)設(shè)備，消耗品和相關(guān)服務(wù)業(yè)的多元化制造商之一。

美國BROOKS INSTRUMENT主要產(chǎn)品包括：Brooks Instrument質(zhì)量流量控制器、Brooks Instrument轉(zhuǎn)子流量計、Brooks Instrument壓力傳感器、變送器、真空計、調(diào)節(jié)器、控制器等，廣泛應(yīng)用于重工業(yè)、油氣精煉、化學和石化研究、制藥和生物制藥生產(chǎn)、太陽能電池、LED薄膜、光纖和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。過程控制是使您的生產(chǎn)超越尋常并實現(xiàn)新的性能水平的關(guān)鍵。要控制任何過程，您必須首先對其進行精確測量。這就是使Brooks Instrument成為精密流體測量和控制技術(shù)的全球的原因。他們實現(xiàn)了精確的過程性能。他們提供的結(jié)果始終為他們的客戶創(chuàng)造競爭優(yōu)勢。在重工業(yè)中。在石油和天然氣精煉中?；瘜W和石化研究。制藥和生物制藥生產(chǎn)。

Brooks Instrument是《財富》200強公司ITW(伊利諾伊州工具廠)的子公司。ITW是專業(yè)工業(yè)設(shè)備，消耗品和相關(guān)服務(wù)業(yè)務(wù)的多元化制造商之一。該公司已經(jīng)繁榮了100多年，因為ITW的每一項業(yè)務(wù)都具有獨立的企業(yè)家精神和創(chuàng)新自由。世界ITW的才華橫溢的人們通過新產(chǎn)品和客戶驅(qū)動的解決方案來推動他們的成功。這就是使Brooks Instrument成為精密流體測量和控制技術(shù)的全球的原因。他們實現(xiàn)了精確的過程性能。他們提供的結(jié)果始終為他們的客戶創(chuàng)造競爭優(yōu)勢。在重工業(yè)中。在石油和天然氣精煉中。化學和石化研究。制藥和生物制藥生產(chǎn)。太陽能電池，LED，薄膜，光纖和半導(dǎo)體制造。超越。

Brooks Instrument憑借其開創(chuàng)性的流體測量和控制技術(shù)，一直是該市場的。布魯克斯儀器公司是值得信賴的合作伙伴，因為他們的流量，壓力和汽化儀器儀表非常準確。這是可靠的。穩(wěn)定的。可重復(fù)的。耐用的。在要求工業(yè)和電子制造系統(tǒng)中，逐年，十年又十年地證明了這一點。它不斷融合創(chuàng)新，將測量和控制技術(shù)提升到新的靈活性和精度水平。過程控制是使您的生產(chǎn)超越尋常并實現(xiàn)新的性能水平的關(guān)鍵。要控制任何過程，您必須首先對其進行精確測量。

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BROOKS INSTRUMENT主要產(chǎn)品

BROOKS INSTRUMENT彈性體密封壓力控制器、BROOKS INSTRUMENT流量計

、BROOKS INSTRUMENT控制器、BROOKS INSTRUMENT流量傳感器

、BROOKS INSTRUMENT壓力控制器、BROOKS INSTRUMENT流量變送器

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BROOKS INSTRUMENT產(chǎn)品介紹

質(zhì)量流量控制器和儀表

為真正實現(xiàn)對每個過程的控制，用戶必須精確測量進行中的過程 — 范圍涉及饋線、倉室等每一處 — 然后利用所得到的實時信息確保過程準確按照目標執(zhí)行并達到目標產(chǎn)率。

作為一家在液體精確測量與控制方面的企業(yè)，布魯克斯儀器數(shù)十年來不斷堅持創(chuàng)新熱質(zhì)量流量技術(shù)，推出新產(chǎn)品并不斷提升現(xiàn)有系統(tǒng)性能以突破現(xiàn)有熱質(zhì)量流量技術(shù)在準確性、響應(yīng)速度、精度和重現(xiàn)性方面的限制。

質(zhì)量流量設(shè)備在全球得到廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵原因：

擁有業(yè)內(nèi)種類的產(chǎn)品系列可滿足各種應(yīng)用需求

創(chuàng)新型 MultiFlo™ 技術(shù)可使一臺設(shè)備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統(tǒng)中拆除設(shè)備，同時還能夠提升過程氣體的測量準確性

產(chǎn)品范圍全面，包括彈性體密封和金屬密封選件

超高純度設(shè)備，專為滿足薄膜、半導(dǎo)體以及其他高科技行業(yè)需求而設(shè)計

熱處理、切割等其他熱過程

半導(dǎo)體和 LED 生產(chǎn)工具

薄膜淀積系統(tǒng)

用于生物制藥的生物反應(yīng)器

石化和化工氣體和液體試驗工廠

吹掃氣體、過程分析和分析用流量測定

橡膠密封質(zhì)量流量計和控制器將工藝所需的準確性、可靠性和可重復(fù)性相結(jié)合，是一種能夠為您提供高精度性能和長期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟有效的測量儀器。結(jié)果：使運營投資價值和回報。

關(guān)鍵應(yīng)用

化學品與石化分析和試驗過程

實驗室和分析系統(tǒng)

生命科學實驗室

薄膜氣相沉積

熱處理、切割等其他熱過程

真空應(yīng)用

選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

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變面積流量計（轉(zhuǎn)子流量計）

作為變面積 (VA) 流量計（轉(zhuǎn)子流量計）技術(shù)的先驅(qū)之一，Brooks Instrument 生產(chǎn)各式組合的流量計，安裝并幾乎用于各行業(yè)和各應(yīng)用途徑。

這種廣泛的產(chǎn)品組合包括鎧裝金屬 和玻璃管轉(zhuǎn)子流量計每一個的設(shè)計都旨在能夠經(jīng)久耐用、可重復(fù)、可靠地測量氣體和液體流量。它們的特點是：

可靠易讀的顯示屏

任何情況下都指示故障安全流量

能補償變化壓力的一體化流量控制器

適用多個壓力范圍的材料和設(shè)計

現(xiàn)場可更換的組件和定制秤

可選的流量開關(guān)與自動閥或警報器相集成

關(guān)鍵應(yīng)用

基本的液體或氣體流量測量

旋轉(zhuǎn)設(shè)備的流量測量

過程分析儀

海上石油鉆井平臺的高壓流

化學劑注入

清洗液體或氣體的計量------

122系列機械壓力表

型號S122/C122/F122Brooks Instrument 122系列機械壓力表是為要求苛刻的半導(dǎo)體行業(yè)高純度應(yīng)用而設(shè)計和開發(fā)的。他們的機械壓力表由不銹鋼制成，精度為滿刻度的1%。這兩個英寸的壓力表是耐用的測量設(shè)備，可用于各種過程連接，壓力范圍和插座方向，從而提供了一種可靠而有效的本地壓力監(jiān)測方法。從壓力表供應(yīng)商處獲得精確的高性能結(jié)果。

特點

極廣泛的流量范圍 - 支持很低到很高程度的流速

溫度為 -325°F - 788°F (-198°C - 420°C )

壓力高達 6,000 psi（標準產(chǎn)品）和20,000 psi（定制型）

帶現(xiàn)場操作接口（可選）的增強型 LCD 顯示屏

符合 SIL 2 要求的高/低流量報警功能

316SS 不銹鋼防爆外殼符合 ATEX 氣體組 IIC/1 類 1 級危險區(qū)等級

選擇的耐腐蝕防潮材料和指示器外殼滿足苛刻的應(yīng)用需求

墊片密封面符合 ASME 要求，無需特殊墊片

流量變送器可擁有HART® 7 或 FOUNDATION™ Fieldbus功能并且獲得了全球認證

優(yōu)勢

任何 VA 流量計即使在非常低和最高的工藝溫度下都能進行可重復(fù)的流量測量

設(shè)計符合 ASME B31.3 - 世界主要工業(yè)設(shè)施要求

產(chǎn)品文檔、材料跟蹤和項目規(guī)劃與 EPC 系統(tǒng)集成商的需求相融合

無需電源 - 降低了使用成本和安裝復(fù)雜程度

可靠的流量測量技術(shù)允許通過模擬或數(shù)字接口與控制系統(tǒng)進行通訊，即使沒有可用電源

廣泛的壓力和溫度范圍允許就多用途只選擇一個流量計

可用性和可靠性 - 全球使用已數(shù)十年

全球范圍內(nèi)批準在易爆、危險環(huán)境中使用，符合國際最高防爆安全要求

多個接頭選擇，易于安裝

法蘭設(shè)計避免了對特殊墊片的需求

對焊法蘭標準，可接受完整性檢查

應(yīng)用

基本的液體或氣體流量測量

監(jiān)測旋轉(zhuǎn)設(shè)備的潤滑劑和/或冷卻液

計量添加劑

監(jiān)測熔爐氣體

海上石油鉆井平臺的高壓流

化學劑注入

金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器和儀表

最高純度氣路。超高精確，無污染的控制。

現(xiàn)今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進行相當準確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結(jié)合共同實現(xiàn)了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設(shè)計。

關(guān)鍵應(yīng)用

硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD

精密的表面涂層

分析系統(tǒng)

真空處理應(yīng)用

選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

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-VDM300 DI水蒸氣輸送模塊特征

流量范圍：3 slpm(DIW蒸氣)

直接水蒸氣測量，流量精度高

直接連接到房屋去離子水供應(yīng)

在較低溫度下運行(非過熱狀態(tài))

優(yōu)化的沖洗和排水設(shè)計

EtherCAT數(shù)字通信

Brooks專家支持工具(BEST)圖形用戶界面

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彈性體密封壓力控制器

使用穩(wěn)定的電子壓力控制器可獲得更好的精度，穩(wěn)定性和可靠性。

Brooks Instrument的彈性體密封壓力控制器經(jīng)過精心設(shè)計，堅固，耐用且具有成本效益，同時為全球用戶提供了持續(xù)可靠的精度，這得益于流體測量和控制領(lǐng)域的。他們電子壓力控制器利用了行業(yè)熱質(zhì)量流量控制器中存在的核心控制技術(shù)。

他們的彈性體密封壓力控制器通過消除與傳統(tǒng)機械彈簧膜片壓力調(diào)節(jié)器相關(guān)的下垂和滯后，實現(xiàn)了閉環(huán)控制。Brooks壓力控制器帶有內(nèi)部壓力傳感器，可控制高達4500 psig的壓力。結(jié)果：電子壓力控制器使關(guān)鍵過程保持在目標位置。

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BROOKS INSTRUMENT產(chǎn)品型號

流量計1026NC032AA1F9F00001

流量計1026NC032AA1C9E00001,SCALE24-240L/HR

質(zhì)量流量控制器BROOKS INSTRUMENTS SLA5853S測量量程：0-1000 Nl/min

INSTRUMENTs流量計1350EM2BCNF1A

S-097-Y-208-AA、112804

流量控制器SLA5853S2GAB2C2A1

電源0250系列0254AB2A21A

流量計MT3809系列3809GZ4114

流量控制器SLA5853系列SLA5853/S-2G-A-B-2-C-2-A-1

SLA5850-SB1AB1C2A1,0-2,5NL/MIN

流量計FR2A14SVVT(0.4-5LPM)

流量計GT1001020NK1D1AA2FC9CA001

質(zhì)量流量控制器541-C-06-AAG REW

5700 系列5700質(zhì)量流量控制器

5850E 系列5850E, i / 5851E, i / 5860E, i / 5861E, i / 5853E, i / 5863E, i質(zhì)量流量控制器

GF40 系列質(zhì)量流量控制器

SLA 系列SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863質(zhì)量流量控制器

SLAMf 系列SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64質(zhì)量流量控制器

5850EM 系列5850EM / 5851EM質(zhì)量流量控制器

GF80 系列質(zhì)量流量控制器

GF100 系列GF100 / GF101 / GF120 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126質(zhì)量流量控制器

GF100 系列 EtherCATGF100 / GF101 / GF120 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

5850EMH 系列5850EMH / 5851EMH質(zhì)量流量控制器

GF120xHT 系列質(zhì)量流量控制器

Quantim® 系列SLA5850

Sho-Rate™ 系列可變面積流量計（轉(zhuǎn)子流量計）

FC 系列FC8744 / FC8800 / FC8900可變面積流量計（轉(zhuǎn)子流量計）

MT3750 系列3750C可變面積流量計（轉(zhuǎn)子流量計）

MT3809 系列3809G / 3809G ELF / 3809G TFE Lined / 3810G可變面積流量計（轉(zhuǎn)子流量計）

8600 系列8601

122 系列壓力表S122 / C122

122 系列開關(guān)IPS122 / IPT122

SolidSense II® 系列GF / GF

5866RT5866RT

SLA5800 系列SLA5810 / SLA5820 / SLA5840

SLAMf 系列SLAMf10 / SLAMf20

PC100 系列PC115 / PC125壓力和真空產(chǎn)品

半導(dǎo)體產(chǎn)品

CMC 系列CMC壓力和真空產(chǎn)品

半導(dǎo)體產(chǎn)品

XacTorr® 系列CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3壓力和真空產(chǎn)品

半導(dǎo)體產(chǎn)品

VDM300VDM300汽化產(chǎn)品

半導(dǎo)體產(chǎn)品

0250 讀數(shù)應(yīng)用0251 / 0254附件和軟件

0260 系列

LR-056 系列

0260 系列軟件V1.0.3.1附件和軟件

Brooks Expert Support Tool (BEST)V5.12.0.0 / V5.10.0.0附件和軟件

GP200 嵌入式氣體數(shù)據(jù)庫V403 / V401 / V400 / V399附件和軟件

MultiFlo™ 配置器GF100 EtherCAT MFC的驅(qū)動程序 / 使用USB 2.5mm電纜的設(shè)備驅(qū)動程序 / V5.34 / V5.32 / FloCom 數(shù)據(jù)庫 db220418 / FloCom 數(shù)據(jù)庫 db190701附件和軟件